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电子工业用超纯水设备的工艺大致分成以下几种：1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
混床是将阴、阳离子按照一定的比例混合装填于同一交换容器内的离子交换装置，其全称是混合离子交换柱，简称混合床或混床，通常是用在反渗透等水处理工艺之后用来制取超纯水，其出水电导率可低于1uS/cm以下，出水电阻率达到10MΩ.cm以上，根据不同的水质及使用要求，出水电阻率可控制在1－18MΩ.cm之间。被广泛应用在电子、化工、电镀、涂装等纯水的制备。
超纯水反渗透
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